如采用某种能够溶解金属而与氧化膜不起作用的试剂，钝化剂，小心地溶解除去膜下的金属，就可分离出能看见的钝化膜，金属钝化，钝化膜是怎样形成的？当金属阳极溶解时，其周围附近的溶液层成分发生了变化。一方面，溶解下来的金属离子因扩散速度不够快（溶解速度快）而有所积累。
于是，就要增大电极的电流密度，电极的电位会变得更正。这就有可能引起oh-离子在电极上放电，其产物（如oh）又和电极表面上的金属原子反应而生成钝化膜。分析得知大多数钝化膜由金属氧化物组成（如铁之fe3o4），钝化工艺，但少数也有由氢氧化物、---盐、磷酸盐、硅酸盐及难溶---盐和氯化物等组成。
在氧化层中大部分的电荷效应是直接或间接地同热氧化的工艺过程有关的。在800—1250~c的温度范围内，用干氧、湿氧或水汽进行的热氧化过程有三个持续的阶段，湖北钝化，首先是环境气氛中的氧进入到已生成的氧化层中，然后氧通过二氧化硅向内部扩散，当它到达si02-si界面时就同硅发生反应，形成新的二氧化硅。这样不断发生着氧的进入—扩散—反应过程，使靠近界面的硅不断转化为二氧化硅，氧化层就以一定的速率向硅片内部生长。
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